該設(shè)備具有四個可以進行微調(diào)的探針臂，每個探針臂上的探針都可以進行三維方向上的精準定位。

設(shè)備特點：

1，可更換樣品臺

2，80K-245K寬溫區(qū)

3，溫度穩(wěn)定性50MK

4，探針位移精度10微米

5，三個DC同軸探針臂

6，一個微波40G探針

7，探針XY軸行程25MM