◆  樣品臺(tái)：鍍金樣品臺(tái)(三同軸、同軸、接地)

◆  樣品臺(tái)尺寸：2英寸/4英寸

◆  顯微鏡：最小分辨率2μm或4μm可選

◆  探針臂：最多可安裝6個(gè)探針臂、X方向行程：50mm、移動(dòng)分辨率3μm;Y、Z方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm

◆  探針配置：DC探針、射頻探針、光纖探針可選

◆  真空系統(tǒng)：機(jī)械泵或分子泵

◆  真空度：5×10^-3Pa(室溫)、5×10^-5Pa(最低溫)

◆  溫度范圍：4.5K-350K(兩個(gè)針臂)、5.5K-350K(四個(gè)針臂)、6K-350K(六個(gè)針臂)、20K-675K(高溫選件)

◆  溫控精度：小于300K、±50mK、大于300K、±100mK

◆  低振動(dòng)選件：真空泵與腔體間機(jī)械物理隔振、壓縮機(jī)與冷頭之間機(jī)械物理隔振、桌面氣浮隔振、最低振動(dòng)小于1μm